Анотації

Верьовкін Г.Г. “ Оптичне розсіювання на частково впорядкованих об'єктах різноманітної вимірності”. Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико – математичних наук за спеціальністю 01.04.05. – Оптика та лазерна фізика. – Одеський державний університет ім. І.І.Мечникова, Одеса, 1998.

   Дисертацію присвячено кількісному експериментальному дослідженню процесів розсіювання та дифракції когерентного та некогерентного випромінювання на об'єктах різноманітної вимірності з метою визначення їх просторового розподілу, геометричних характеристик та дефектності розсіювальних поверхонь.
   На базі отриманих результатів розроблені оптичні методи контролю геометричних параметрів волочильного інструменту, просторового розташування казіодновимірних об'єктів, якості фотошаблонів та рівня дефектності приповерхневого шару напівпровідникових матеріалів.
   Розроблений оригінальний багатоканальний фоточутливий датчик для лазерної дифрактометрії.
   Ключові слова: просторові координати, шорсткість поверхні, фотошаблон, просторовий фільтр, поверхнева рекомбінація, структурні дефекти.

Верёвкин Г.Г. “Оптическое рассеяние на частично упорядоченных объектах различной размерности”. Рукопись.

Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико – математических наук по специальности 01.04.05. – Оптика и лазерная физика. – Одесский государственный университет им. И. И. Мечникова, 1998, Одесса.

   Диссертация посвящена количественному экспериментальному исследованию процессов рассеяния и дифракции когерентного и некогерентного излучения на объектах различной размерности с целью определения их пространственного положения, геометрических характеристик и дефектности рассеивающих поверхностей.
   На основе полученных результатов разработаны оптические методы контроля геометрических параметров волочильного инструмента, пространственного положения квазиодномерных объектов, качества фотошаблонов и уровня дефектности приповерхностной области полупроводниковых материалов.
   Разработан оригинальный многоканальный фоточувствительный датчик для лазерной дифрактометрии.
   Ключевые слова: пространственные координаты, шероховатость поверхности, фотошаблон, пространственный фильтр, поверхностная рекомбинация, структурные дефекты.

Veryovkin G.G. ”Optical scattering on partially ordered objects of various dimension”. Manuscript.

The dissertation for the scientific grade of the candidate of physical – mathematical sciences by the specialty 01.04.05 – optics and laser physics. I.I.Mechnikov Odessa states university, 1998, Odessa.

   The dissertation is devoted to the quantitative experimental exploration of the scattering and diffraction of the coherent and incoherent radiation on the spatial non homogeneities of the medium.
   The optical methods were evaluated of the monitoring of:
   - geometrical parameters of dragging instrument;
   - spatial position of quasi – one – dimensional objects;
   - microelectronics photomask quality;
   - defectiveness of semiconductor materials.
   The original photodetector for laser diffractometry was elaborated.
   Key words: spatial coordinates, surface roughness, photomask, spatial filter, surface recombination, structural defects.

Скачати автореферат дисертації безкоштовно (повна версія)
Оптичне розсіювання на частково впорядкованих об'єктах різноманітної вимірності